产品类别:精密半导体清洗设备
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产品功能 :
◆高纯水、高洁净度清洗。
◆喷洗,超声波清洗工艺。
◆80KHz、120KHz高频精密清洗。
◆工控机、PLC全自动控制系统配合机械臂,运行更平稳。
◆设置摇动机构,清洗洁净度均匀。
◆迷宫式加热装置,加热速度快。
◆耐高温,高效过滤器烘干系统,工件干净无水迹。
◆全不锈钢封闭及排气系统,环境优良。
产品工艺:
中压喷洗+超声渡清先+多DI水喷洗+切水+纯净热风干燥。
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